· 超純設計
o 與液體接觸的部分是 PVDF/PFA材料
· 提高溫度穩定性
o 通過PLC和Power-To-Flow Control?溫度精確控制技術，提供穩定、精確的溫度輸出
· 便于操作的觸摸屏界面
o 高分辨率觸摸屏及圖形界面
o 便于導航
· 符合行業安全準則
o 滿足并超過UL-499、SEMI S2、SEMI S3、CE的嚴格要求
· 即插即用系統與完全集成的控制部分
· 安全集成到設計中
o 額定短路電流為100 kA Amps
o 接地故障斷路器，額定電壓小于30 mAmp
o 多個安全PLC監控 GFCI, 熱熔斷器, 高溫監控熱電偶
o NIST-Certified 熱電偶
o 輸入和輸出都有雙壓力安全閥，確保壓力迅速消散
· 以太網連接讀/寫
o 允許加熱器的數據迅速轉移到 Fab SECS/GEM System
· 不需要用N2清洗
產品特點
· 加熱器:具有Heatefle技術的加熱單元
· 與液體接觸的部分是PVDF/PFA材料
· 功率：40 KW to 225 KW
· 電壓: 200 VAC to 480 VAC, 3-ph
· 最高溫度: 95o C (203o F)
· 溫控精度: +/- 1o C（廠務在入口提供溫度、流量穩定的DIW前提下）
· 流量: 0.5 GPM (1.9 LPM) to 32 GPM (122 LPM)
· 壓力： 60 PSIG @ 95oC
· 效能: >99 %
· MTBF: 10.29 年
安全保護
· 液位傳感器
· 熱熔斷
· 接地故障斷路器
· 壓力安全閥
· 流量傳感器
· 多個安全PLC
通信
· 以太網 (讀/寫)
· 也有其他通信方式可選
| Aquarius | kW | Standard Models | w/ Recirculation Option |
| Low VAC | High VAC | Low VAC | High VAC |
| DI-40 | 40 | 78″H x 32″W x 24″D | 78″H x 24″W x 24″D | 78″H x 24″W x 24″D | 78″H x 24″W x 24″D |
| DI-80 | 80 | 78″H x 32″W x 24″D | 78″H x 24″W x 24″D | 78″H x 32″W x 24″D | 78″H x 24″W x 24″D |
| DI-100 | 100 | 78″H x 39″W x 24″D | 78″H x 32″W x 24″D | 78″H x 39″W x 24″D | 78″H x 32″W x 24″D |
| DI-120 | 120 | 78″H x 39″W x 24″D | 78″H x 32″W x 24″D | 78″H x 39″W x 24″D | 78″H x 32″W x 24″D |
| DI-160 | 160 | N/A | 78″H x 39″W x 24″D | N/A | 78″H x 39″W x 24″D |
| DI-200 | 200 | N/A | 78″H x 39″W x 24″D | N/A | 78″H x 39″W x 24″D |
| DI-225 | 225 | N/A | 78″H x 39″W x 24″D | N/A | 78″H x 39″W x 24″D |
| *Low VAC: 200-240 VAC, 3-Phase · High VAC: 380-480 VAC, 3-Phase |
https://www.heateflex.com/products/deionized-water-heater/
01 | Auto Purge |
02 | Resistivity Sensor |
3B | Ethernet Cable -50 ft (replaces standare 25-ft cable) |
4A | Water leaks Alarm Option(User had choice to set alarm as critical or no-critical, signal only) |
4B | Water leaks option(Isolation vlave input only, AOV, critical alarm only , not available on 32mm or 40mm units) |
4C | Water leaks option (Isolation Valves input and output, AOV, Critical Alarm only,not available on 32mm or 40mm units) |
5A | Discrete Communications option with 25-ft cable |
5B | Discrete Communications option with 50-ft cable |
6A | Analog Communications option with 25-ft |
6B | Analog Communications option with 50-ft |
7A | Dry Contact communication option with 25-ft cable |
7B | Dry Contact communication option with 50-ft cable |
08 | Dry signal for secondary process set point ( No panel mount , no interface cable) |
09 | Recirculation Option |
10 | Power supply from bottom of Unit |
11 | Lock out Tag-out Circuit Breaker box on back of unit |
12 | Incoming power conduit size increase by 1 |
13 | Manifold for Multiple Units |
14 | Embedded Ground Wire (1 per heating coil) |
15 | 3/4” Flare Drain |
16 | Manual Valve at In/Out |
17 | 3/4” Pillar Super 300 Vent Relief and Any Internal Tubing (soft) Will Have Pillar Fittings |
18 | Top Mounted Fan & Vent |
Power-To-Flow? 控制
Heateflex的Power-To-Flow Control?是一種創新的控制系統，旨在為在線加熱提供精確的溫度輸出的應用程序。
Power-To-Flow 控制系統消除了不必要的溫度波動. 先進的 Aquarius? 溫度控制系統具有多回路能力和前饋功能，以補償加熱過程中流量的變化. 它測量流體進入加熱器時的流速，測量加熱過程中不同階段的溫度，然后根據這些測量結果，調整每個加熱區域的功率比例。這種先進的綜合控制方法對流量的任何變化反應迅速，在穩定的溫度下提供DI Water的穩定流動。
優勢：
· 優良的溫度穩定性
· 對溫度和流量變化的快速反應
· 消除溫度的波動
