根據(jù)工藝需求，選用耐腐蝕NPP或者PTFE材料。
適用于4英寸方片和最大到160毫米圓片。
本機臺具有噴淋、清洗、甩干、手動涂膠功能
使用數(shù)控伺服電機，可以設定正傳/反轉，滿足工藝功能。
客戶可以自由設定工藝時間、轉速和加速度。
標配轉速為：1—10000RPM。
可存儲99個客戶自定程序。
每個程序可以自編99步。
轉速精確度為：+/- 0.1RPM。
旋轉加速度為： 7500RPM/SEC。
提供與客戶晶片尺寸相適應的機械或真空夾具
有機臺蓋子自動互鎖保護。
提供PVD透明內腔保護襯，在涂膠工藝時保持機臺內壁潔凈
